Mendeley出力
Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries II : 2-3 August 2001 San Diego, USA / Angela Duparré, Bhanwar Singh, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4449)
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1F図書 |
|
A9/SP/4449 | 10020162 |
|
|
書誌詳細を非表示
| 出版情報 | Bellingham, Wash. : SPIE , c2001 |
|---|---|
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | ix, 294 p. : ill. ; 28 cm |
| 一般注記 | Includes bibliographic references and index |
| 著者標目 | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers Duparré, Angela Singh, Bhanwar, 1952- |
| ISBN | 0819441635 |
| NCID | BA58045904 |