| 出版情報 |
東京 : 裳華房 , 1998.3 |
| 本文言語 |
日本語 |
| 大きさ |
x, 234p ; 22cm |
| 別書名 |
その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication |
| 一般注記 |
欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書 |
| 著者標目 |
吉田, 善一(1957-) <ヨシダ, ヨシカズ>
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| 件 名 |
BSH:集積回路
BSH:電子光学
NDLSH:半導体
NDLSH:機械工作
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| 分 類 |
NDC8:549.7
NDC9:549.7
NDC9:549.8
NDLC:ND371
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| ISBN |
4785325089 |
| NCID |
BA35144601
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