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Intelligent integrated microsystems : 19-21 April 2006, Kissimmee, Florida, USA / Ravindra A. Athale, John C. Zolper, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 6232)

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1F図書
A9/SP/6232 10061201

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出版情報 Bellingham, Wash. : SPIE , c2006
本文言語 英語
大きさ 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm
一般注記 Includes bibliographical references and author index
著者標目  Athale, Ravindra A.
Zolper, J. C.
件 名 LCSH:Microelectromechanical systems -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7875
DC22:621
ISBN 0819462888
NCID BA80764906

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