電子線リソグラフィ教本

デンシセンリソグラフィキョウホン
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	利用注記	予約
1F図書		S4/Ak/2007	10071644

出版情報	東京 : オーム社 , 2007.6
本文言語	日本語
大きさ	xiii, 210p : 挿図 ; 21cm
別書名	標題紙タイトル:Electron beam lithography
一般注記	監修: 横山浩参考文献: p201-203
著者標目	秋永, 広幸 <アキナガ, ヒロユキ> 横山, 浩 <ヨコヤマ, ヒロシ>
件　名	BSH:リソグラフィー BSH:電子線
分　類	NDC8:549.7 NDC9:549.7
ISBN	9784274204159
NCID	BA82476094